HP4062UX:言語リファレンスG~M
HP4062UXは半導体プロセス制御システムと呼ばれ、自動パラメータ試験
に用いられます。
ここでは測定用のG~Mについて解説します。
HP4062UX:G~M
Init_system
このサブプログラムはシステムを初期状態に戻します。
プログラムの最初で、Init_systemを実行することをお勧めします。
Init_system
Is_on_line
このサブプログラムは現在オンライン・モードかそうでないかの
状態をもどします。オンラインモードなら1が、そうでなければ0が
オンライン名に戻されます。
Is_on_line(On_line_flag)
Lingraph
このサブプログラムは図形ラスタを初期化し、0からそれぞれ最大の
値に適した値までのX軸、Y軸を引き、スケールを最適化します。
Lingraph (Xの最大値,Yの最大値,X軸,Y軸,グラフ名(,目盛線))
Lingraph1
このサブプログラムはXおよびYの最小値、最大値に適したX軸、
Y軸を引き、スケールを最適化します。
Lingraph1 (Xの最小値,Xの最大値,Yの最小値,Yの最大値,X軸名,Y軸名,グラフ名(,目盛線))
Loggraph
常用対数の関数グラフです。
このサブプログラムは図形ラスタを初期化し、
Yの最小値、最大値に適した対数目盛のY軸と0からXの最大
値に適した値までのX軸をひきスケールを最適化します。
Loggraph (Xの最小値,Yの最小値,Yの最大値,X軸名,Y軸名,グラフ名(,目盛線))
Loggraph1
このサブプログラムはXおよびYの最小値、最大値に適した対数グラフの
X軸、Y軸を引きスケールを最適化します。
Loggraph1 (Xの最小値,Xの最大値,Yの最小値,Yの最大値,X軸名,Y軸名,グラフ名)
Long_cal
このサブプログラムはDCSのSMUとA/D、D/Aコンバータを内部で自動的に
キャリブレーションし、DCSのすべてのポートを初期状態にします。
Long_cal
Measure_cmu
このサブプログラムは
CMUに接続された試料のキャパシタンスとコンダクタンスを測定し、
残留分を補正した後の値を戻します。
Measure_cmu((キャパシタンス名(,コンダクタンス名(,レンジセレクタ)))
Measure_cmu84
このサブプログラムはCMU84を用いてキャパシタンスとコンダクタンス
の測定を実行し誤差補正された値を戻します。
Measure_cmu84 (キャパシタンス名(,コンダクタンス名(,測定レンジ)))
Measure_i
このサブプログラムはSMUまたはVSに流れる直流電流を測定し、その値を
戻します。
Measure_i (ポートアドレス/ピン番号(,電流値名(,測定レンジ)))
Measure_p
このサブプログラムは
Set_pbiasステートメントによって設定した条件でパルス測定を実行し、
測定値を戻します。
Measure_p (ポートアドレス/ピン番号,測定モード(,測定値名(,測定レンジ)))
Measure_v
このサブプログラムはSMUまたはVMに加わる直流電圧を測定し、値を戻します。
Measure_v (ポートアドレス/ピン番号(,電圧値名))