HP4062UX:言語リファレンスF①
HP4062UXは半導体プロセス制御システムと呼ばれ、
実体は測定器をスイッチングマトリックスで制御できる
ようにしたものです。
この計測命令を集めたものをここで紹介します。
ここでは測定用のF①について解説します。
HP4062UX:F①
FNAux
この関数はAUXポートのポートアドレスを戻します。
Vs1=FNAux(1) !引数はAUXポート番号。1または2
FNBvcbo
この関数はエミッタ開放時のコレクタ、ベース間のブレークダウン電圧を測定して
その値を戻します。
FNBvcbo(Im,Vlimit,holdtime)
FNBvces
このサブプログラムは
ベースとサブストレートをエミッタに接続したときのコレクタ、エミッタ間の
ブレークダウン電圧を測定し、値を戻します。
Vces=FNBvces(1.E-5) ! 引数は試験電流。
Vces=FNBvces(Im,Vlimit,time_hold) !電流、電圧コンプライアンス、ホールド時間
FNCmh
この関数はSWMのAUX3(CMH)ポートのポートアドレスを戻します。
Cmh=FNCmh
FNCml
この関数はSWMのAUX4(CML)ポートのポートアドレスを戻します。
Cml=FNCml
FNCmu
この関数はCMUのCMH端子、CML端子のユニットアドレスを戻します。
CMU=FNCmu(1) ! 引数はCMU端子の指示子
FNDelta_l
この関数はSetmultitrで定めたチャネル長の異なるFETのドレイン電流を
同じ条件下で測定し、その値から得たΔL(um)の値を戻します。
FNDelta_l (ドレイン電圧,ゲート電圧,チャネル1の長さ,チャネル2の長さ,(チャネル長さ3~6))
FNDelta_w
この関数はSetmultitrで定めたチャネル幅の異なるFETドレイン電流を同じ条件下で
測定し、その値から得たΔW(um)の値を戻します。
FNDelta_w (ドレイン電圧,ゲート電圧,チャネル1の幅,チャネル2の幅,(チャネル幅3~6))
FNGcmu
この関数はSWMのGCMUポートのポートアドレスを戻します。この関数はFNPortと同じ機能を持ちます。
Cmg=FNGcmu
FNGnd
この関数はSWMのGNDUポートのポートアドレスをもどします。
Gnd=FNGnd
FNGsmu
この関数はSWMのGSMUポートのポートアドレスを戻します。
Smulg=FNGsmu
FNHfe
この関数はコレクタ電流が指定した値になったときの直流電流増幅率(hfe)を
計算し、その値を戻します。
Hfe=FNHfe(5,1.E-2) ! 引数はコレクタ電圧、コレクタ電流
FNHfe1
この関数はコレクタ電流が指定した値になったときの直流電流増幅率を計算
し、その値を戻します。
あらかじめSet_trで指定した測定ピンにSMUやGNDユニットを接続します。
FNHfe1 (コレクタ電圧,コレクタ電流,スタートベース電圧,ストップベース電圧(,ランプレート(,積分時間)))
FNIds
この関数はゲート電圧、ドレイン電圧を指定した値にしたときのドレイン電流を
測定し、その値を戻します。
FNIds (ドレイン電圧,ゲート電圧 (,サブ電圧 (,最大ドレイン電流)))