HP4062UX：言語リファレンスF②
HP4062UXは半導体プロセス制御システムと呼ばれ、自動パラメータ試験
に用いられます。
ここでは測定用のF②について解説します。F～は測定系の命令を
多く含むため、3項に分けてリファレンスとしています。
HP4062UX:F②
FNPort
この関数は指定したSWMのポートのポートアドレスを戻します。
TISサブプログラムでSWMのポートを指定するときに使います。
Smu1=FNPort(1)
FNR2t
この関数は2線式抵抗測定で、資料の直流抵抗値を測定し、
その値を戻します。
FNR2t (High端子番号、Low端子番号,印加電流値)
R=FNR2t(1,5,1.E-6)
FNR4d
この関数はVMの差動電圧測定機能を利用した4線式抵抗測定で、試料の
直流抵抗値を測定し、その値を戻します。
FNR4d (High電圧端子,High電流端子,Low電圧端子,Low電流端子,印加電流)
R=FNR4d(1,2,5,6,1E-3)
FNR4t
この関数は4線式抵抗測定で、試料の直流抵抗値を測定し、その値を戻します。
FNR4t (High電圧端子,High電流端子,Low電圧端子,Low電流端子,印加電流)
FNSmu
この関数はSWMのSMUポートのポートアドレスを戻します。
FNPort関数と同じ機能です。
FNR4t (ポート番号)
FNUnitsmu
この関数は指定したSMUユニットアドレスを示します。
Smu=FNUnitsmu(1)
FNVm
この関数は指定したVMユニットアドレスを戻します。
FNVm(VMユニット番号)
FNVs
この関数は指定したVSユニットアドレスを戻します。
FNVs(VMユニット番号)
FNVth1
この関数はエンハンスメント型FETの飽和領域でドレイン電流
が指定した値になったときのゲート、ソース間しきい値電圧を
戻します。
FNVth1 (ドレイン電流(,最大ゲート電圧(,サブ電圧)))
FNVth2
この関数はエンハンスメント型FETの飽和領域の異なる2点の
閾値電圧を測定し、Vgs-Ids特性から計算で求めた閾値電圧を
戻します。
FNVth2 (ドレイン電流1,ドレイン電流2(,最大ゲート電圧(,サブ電圧)))
FNVth2m
この関数はエンハンスメント型FETの飽和領域でドレイン電流
が指定した値になったときのゲート・ソース間電圧をそれ
ぞれ測定し、これら複数の測定値をもとに最小二乗法により
しきい値電圧を算出します。
FNVth2m (ドレイン電流,(,最大ゲート電圧(,サブ電圧)))
FNVth3
この関数はFETのドレイン電流が指定した値まで増加したときの
ゲート・ソース間のしきい値電圧を戻します。
FNVth3 (ドレイン電流,ドレイン電圧(,最大ゲート電圧(,サブ電圧)))
FNVth4
この関数はFETのドレイン電流が指定した値になったときの
ゲート・ソース間のしきい値電圧を二分法により測定し戻します。
FNVth4 (ドレイン電流,ドレイン電圧,最小ゲート電圧,最大ゲート電圧(,サブ電圧)))
FNVth5
この関数はAFUを用いてゲート電圧を指定したドレイン電流が流れるまで
変化させそのときのゲート電圧をFETのしきい値電圧として戻します。
FNVth5 (ドレイン電流,ドレイン電圧,スタートゲート電圧、ストップゲート電圧
(,ランプレート(,帰還積分時間(,サブ電圧)))